VariSorb CE 高性能深褶式AMC化学过滤器

产品概述

以高活性椰壳活性炭滤料、浸渍活性炭和离子交换树脂为滤料
有效祛除VOCs、SOx、NOx、HF、HCl、 O3、NH3等
密褶式结构设计,低阻
不发尘、无释气
可制作各种尺寸

典型应用

  • 微电子组件组装
  • TFT/LCD生产
  • LTPS/OLED生产
  • 晶圆制造
  • 硬盘、驱动制造
结构
VariSorb CE化学过滤器整体外框由铝型材构成,进出风面各有一层护面网,保证了坚固的结构,可抵抗在运输、搬运和操作过程中的损坏。
安装
VariSorb CE化学过滤器配套AAF的buffer frame框架使用,安装更换快捷高效。框架可循环使用,节省成本。
滤料介质
VariSorb CE化学过滤器滤料可选高活性椰壳活性炭、浸渍活性炭和离子交换树脂,既可做成单一功效也可做成复合功效,这些滤料被束缚在两层无纺布夹层中。与传统的柱状颗粒活性炭过滤器不同,粉末状滤料提供了颗粒微观结构,确保单位质量的滤料具有更高的有效面积,从而产生高吸附性能,再加上微观结构的紧密堆积,这就为气态分子污染物创造了一条曲折的路径,从而使过滤器获得高吸附效率。
滤料最大限度地暴露,且被牢固地粘合于无纺布纤维基质中,过滤器成品几乎不产尘,且保证了成品的低阻力。
质量管控
AAF有专业的化学实验室,VariSorb CE化学过滤器在出厂前进行out-gassing和out-particle测试,测试结果完全符合半导体厂的使用要求,确保在使用过程中不对洁净室造成二次污染。
服务
安装完后,AAF可提供洁净室内的AMC浓度检测服务。

对于尺寸和性能数据:

下载完整手册
  • 外框:铝合金,结构坚固
  • 滤料:椰壳活性炭、浸渍活性炭和离子交换树脂,可根据实际需要灵活选择
  • 功能:可同时对颗粒物和气体污染物进行过滤,低浓度下,性能优异
  • 性能:密褶式设计,低阻高效
  • 可靠性:使用中不发尘、无释气
  • 尺寸:可根据实际需要定制
  • 初阻力:30pa@1.0m/s&150mm厚度
  • 连续运行温度:≤49℃
  • 耐湿性:≤70%RH

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